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作者: 发布时间：2026-09-22 点击数：
技术参数：
FIB 分辨率: 5nm, 30kV
SEM分辨率: 1.2 nm（15 kV）1.6 nm（1KV）
FIB束流：最大90nA
SEM束流：最大300nA
气体输入系统 x1-3
主要特点：
1.监控、切割、组装和三维图像重构连续操作
2.大束流，最大90nA
3.提供空前稳定的图像
4.气体注入系统用于刻蚀和沉积
5.最大装样 150 mm
6.气锁式样品交换
7.五轴全对中样品台
8.多个样品分析接口
9.三维图像、能谱、EBSD
一审：何钢
二审：付强
三审：阳东
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